实验供气系统使用安全注意事项

1.易1燃易1爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室

内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能---可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：

可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。

可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的1低处。

可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。

为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入---的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。

可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。

各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体。

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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的---产业,由于所用气体的品种多、要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的---产业。试验室集中供气系统的特点1、特点：试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高，为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。

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特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项

由于特种气体产品的潜在危险性，如氧气遇油脂着火，气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶，惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。

气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。              

使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。

不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、---等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。  

烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊枪等。              

特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有---通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁---，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。

在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐保持直立状态。 

高纯供气系统

稳压效果好。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，---气柜各管路与阀门吹扫干净。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如，系统二级减压后，加上仪器内部的调压装置，可以说是三级稳压，气源在一级减压后，主管路上保持较高压力，便于远距离管道输送，在仪器前端采用二级低压减压阀，将压力调整到仪器工作范围内，再进入仪器内部的压力调整后，进入仪器的气体能够---达到仪器使用要求。