由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全---。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，---气柜各管路与阀门吹扫干净。
（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（n2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，高纯供气系统厂家，直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12psi，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（pt）受温度的影响，一般有2psi的正负波动。
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大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） ---规模集成电路厂（气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等），100mw以上的太阳能电池生产线（气体种类包括nh3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括nh3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、nf3）、光纤（气体种类包括sicl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括hcl）等行业。它们的投资规模---，采用1---的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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由两种以上气体混合配制而成的气体，而且主要标出大致浓度，即可满足使用要求，这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体，如含氢10%，其余是---的混合气以及含甲1烷5%或10%；含氢40%，其余是氮或---的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时，使用的混合气有下列几种组成:含异---0.95%，或含---1.3%，或含---1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以---为---。
深海呼吸用含氧20%～60%，其余是氮或---的混合气。激光用气含co24%～16%，n210%～25%，其余是---。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题，所以其中二氧---、二氧1化硫和硫1---等都要保持低浓度。
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