1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
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高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316l不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，高纯供气系统，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的---水平。
气体配比仪采用流量计，电化学抛光316l不锈钢管件，双卡套或者vcr气体接头。
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由两种以上气体混合配制而成的气体，而且主要标出大致浓度，即可满足使用要求，这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体，如含氢10%，其余是---的混合气以及含甲1烷5%或10%；含氢40%，其余是氮或---的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时，使用的混合气有下列几种组成:含异---0.95%，或含---1.3%，或含---1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以---为---。
深海呼吸用含氧20%～60%，其余是氮或---的混合气。激光用气含co24%～16%，n210%～25%，其余是---。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题，所以其中二氧---、二氧1化硫和硫1---等都要保持低浓度。
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