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特种气体的应用

电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的---产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。

特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，高纯供气系统，其中常用的有20～30种。

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电子特气管道系统---检漏方法

特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空，外部喷---气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充---气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充---气或---氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，高纯供气系统厂家，测试管路系统的泄漏率。

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