半导体手套箱欢迎来电

手套箱故障分析

一、按键无法操作

1. 手套箱压力是否正常；

2. 检查plc的通讯线是否松动；

3. 公共端24m、m、com等的接线有松动。

二、真空泵操作不了

1. 请查看真空泵泵体上的按钮开关是否打开，“0  off” “1  on”；

2. 查看真空泵的断路器是否跳闸。

三、真空挡板阀打不开

1. 工作气压力太低，压力范围应该是0.4-0.6mpa之间；

2. 挡板阀未通电。

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手套箱主要特点

1、可自动化功能控制气压，检测，净化，还原

2、触摸屏幕：彩色中英文操作界面，易于进入各功能，半导体手套箱，实现人机对话

3、循环：闭合环气体循环，无油和真空

4、气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-12mbar

5、箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全

6、脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整

7、配置---组件

8、密封性能---，更换方便

9、数据备忘录：自动记录系统数据

10、制系统：采用plc程序控制系统

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