高纯供气系统厂家-北京艾明坷-高纯供气系统

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    2020-10-21

张女士
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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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电子特气管道系统---检漏检测规定

1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统,内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

---检漏发现的泄漏点经修补后,高纯供气系统,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕,应充入高纯氮气,并进行吹扫。测试完毕后,应提交测试报告。

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试验室供气现状

目前我们可以用采用---、液体杜瓦瓶、集中供气系统完成上述工作。同时,当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如气瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指1定区域,然后将气体通过管道系统输送至试验室内。

但是考虑安全和效率因素,高纯供气系统报价,不考虑经济性因素,集中供气系统是比较优1秀的方式。并成为当今试验室设备使用高纯气体的---连续的供应源,气体通过管道系统输送至试验室内,并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。

国内比较老的试验室在使用气体的时候大多是将气瓶放在用气点的旁边,然后在气瓶出口处安装一个减压器,然后直接通过紫铜管或四氟软管连接到仪器上,如果一个试验室里有多个使用设备时,就会有很多气瓶,同时有很多杂乱的管路,同时这些气体不乏有毒气体、强腐蚀气体,以及气瓶出口高压等因素,使得这种方式在现实使用过程中是充满危险性的。

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