由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,---气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(n2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12psi,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(pt)受温度的影响,一般有2psi的正负波动。
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随着科技的迅猛发展,---质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检漏仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,高纯供气系统,综观1新---质谱检漏仪的性能特点发现,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。
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---工作环境。实验室内钢瓶、空压机等供气源的取消减少了占地面积,便于实验室设备和设施的布置,避免了其与实验室操作人员在一处造成的混乱和不便。
降低运行成本。集中供气系统可采用储气量较大的液态储罐供气,可---节省采购成本,减少更换气瓶、气罐的频次,节省劳动成本,减轻了维护人员的劳动强度,便于管理、维修和保养。
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