随着科技的迅猛发展，---质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检漏仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观1新---质谱检漏仪的性能特点发现，---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展，这些特点---地满足了当前检漏应用的需求，也---地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。
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电子工业是当今推动科技发展的---产业，由于所用气体的品种多、要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的---产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。
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供气系统材料选择的基本原则是: 一是不宜用非金属材料，二是材料不吸附气体、不产生气体，三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管，当输送气体的纯度***99．99%时，高纯供气系统，管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管; 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如选用非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管，不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品，不得使用替代品。其它部件的选择应给出设计建议，如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料，其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料; 管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定; 管道固定件( 管夹) 应采用耐高温的金属材料，且坚固、轻巧、---。
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