




大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),高纯供气生产厂家,发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,高纯供气系统,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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1、保持气体纯度
2、不间断气体供应:系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换,高纯供气,---气体连续供应
3、低压警示:当气压低于警报,报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定:系统采用两级减压方式供气,可得到非常稳定的压力
5、率:通过供气控制系统,可充分使用气瓶中的气体,减少残气余量,降低用气成本
6、操作简便:所有气瓶存放在同一位置,减少搬运安装的操作,节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室:可提高安全性、提高---、节省实验室操作空间
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实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。按照要求,将所用全部气体存放于储气间,并实现集中输送,组成中央供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够---标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化,江苏高纯供气,满足分析检测设备对使用气体的技术要求。
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