




在oled显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
st系列镀膜机系我司标准化产品,满足大部分实验室科研需求,丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。特点:1、集成一体化结构。
2、---真空度高,可达7×10-5pa,可---更高的镀膜纯净度,提高镀膜。
3、从---到工作背景真空(7×10-4pa)时间短,30分钟左右(充干燥氮气)。 系统停泵关机12小时后真空度:≤8pa。
4、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,浙江真空镀膜,安全。
5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。
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