




st系列镀膜机系我司标准化产品,满足大部分实验室科研需求,真空镀膜系统,丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。特点:1、集成一体化结构。
2、---真空度高,可达7×10-5pa,可---更高的镀膜纯净度,提高镀膜。
3、从---到工作背景真空(7×10-4pa)时间短,30分钟左右(充干燥氮气)。 系统停泵关机12小时后真空度:≤8pa。
4、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。
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机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时,小的工件承载台也转动( ii),并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上,一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮,周围是一些小的星行轮与之啮合,如果要实现产品自转的话,一般用拨叉拨动工件自转。
电阻蒸发源蒸镀法
采用钽,钼,钨等高熔点金属,真空镀膜哪里有,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,云南真空镀膜,让气流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入氧化铝,---等坩锅中进行间接加热蒸发,这就是电阻加热蒸发法。
利用电阻加热器加热蒸发的镀膜机结构简单,造价便宜,真空镀膜,使用---,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对镀膜要求不太高的大批量的生产中,迄今为止,在镀铝制镜的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。
电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了提高加热器的寿命,---已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。据日本---,可采用20%~30%的氮化硼和能与其相熔的耐火材料所组成的材料来制作坩锅,并在表面涂上一层含62%~82%的锆,其余为锆硅合金材料。

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