净化则采用了---的净化材料。其特点有吸附---好，吸收杂质气体量大的特点，高纯度可达99.9999%以上。2.并安装了小于1μ的金属过滤器。---了气体粉末的要求。3.本装置的阀门采用---阀门公司的产品，---了产品的高纯度无渗透及性。4.设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。5.设备中的主要控制仪表全部采用------产品。6.接头采用---的高纯接头，---了无渗透。
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316l不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的---水平。
气体配比仪采用流量计，电化学抛光316l不锈钢管件，双卡套或者vcr气体接头。
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直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，---掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。
第ii种
是采用吸气剂。在一定温度下，高纯供气系统，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、---、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。
第i种方法设备投资小，第ii种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。
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