1、净化剂则采用了---的净化材料。其特点有吸附---好,吸收杂质气体量大的特点,纯度可达99.9999%以上;
2、净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,高纯供气哪里有,气流分布均匀;
3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染,一次安装使用,真正做到零泄漏及---运行。
4、双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且rz-ya-c系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。
目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气,因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。
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大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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