




1、特点:试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,---气体的连续供应。使用者只需管理较少的气瓶,支付较少的气瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及---的气瓶管理。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。
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供气系统材料选择的基本原则是: 一是不宜用非金属材料,二是材料不吸附气体、不产生气体,三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管,当输送气体的纯度***99.99%时,管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管; 管道与设备的连接段宜采用金属管道,如选用非金属软管,高纯供气哪里有,宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管,不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品,不得使用替代品。其它部件的选择应给出设计建议,如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料,其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料; 管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定; 管道固定件( 管夹) 应采用耐高温的金属材料,且坚固、轻巧、---。

随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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