高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316l不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的---水平。
气体配比仪采用流量计，电化学抛光316l不锈钢管件，双卡套或者vcr气体接头。
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1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
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实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在---下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，高纯供气，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
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