机械泵的目的是为了获得低真空，通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积，使得被抽容器内的体积不断膨胀，从而获得粗真空，旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成，其中，定子在油箱中，油起到润滑的目的，挥发的油经由排气口排出，真空镀膜，经过真空泵油雾过滤器过滤，油雾颗粒被过滤器，过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空，因此第二步就是油扩散泵，之所以要在油扩散泵前安装机械泵，是因为油扩散泵不能直接在---压下工作，需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散，为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱，大型镀膜机使用更有效的高真空组合。
1.真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
2.真空获得部分
在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
3.真空测量部分
真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。
4.电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf)。
5.工艺气体输入系统
工艺气体，如氮气(n2)、氢气(h2)、氧气(o2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。
6.机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。
7.加热及测温部分
涂层设备一般有不同位置的加热器，用热电偶测控温度。但是，由于热电偶装夹的位置与工件位置不同，温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度，有很多方法，可以在工件上装高温试纸或热偶计。
8.离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性，真空镀膜公司，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。
9.水冷系统
一般由冷水塔，冰水机，真空镀膜多少钱，水泵等组成。
10.工控系统
要根据自己的产品定位来确定真空镀膜设备制造商的等级，如果你的产品定位在中市场，那么你必须选择中的设备，反之，可选中端或中低端的极可，当然，如果资金充足，购买一台中的，性能丰富，稳定的设备是好不过的了。
看看同行业的的公司都在选用哪个公司的真空镀膜镀膜设备，这无疑是风险小的一种选择方式。
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