1、净化剂则采用了---的净化材料。其特点有吸附---好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上;
2、净化器采用特殊结构和装料方法，高纯供气多少钱，流速设计合理，气流分布均匀;
3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染，一次安装使用，真正做到零泄漏及---运行。
4、双式结构，开机后一组工作，另一组再生、备用，而且rz-ya-c系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行，故能够连续供气，一台能顶单式的两台使用。
供气系统的连接应符合 gb 50236－2011<现场设备、工业管道焊接工程施工规范>等标准的要求［11］。管道的连接应采用法兰连接或焊接等方法，氢气管道不应使用丝扣连接; 高纯气体管道应采用承插焊接; 气体管道与设备、阀门与管道或管件的连接应采用丝扣或法兰连接; 丝扣接头中的填料应采用聚四氟乙烯膜、一氧化铅、甘油调合填料; 对于高纯气体管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。
大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） ---规模集成电路厂（气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等），100mw以上的太阳能电池生产线（气体种类包括nh3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括nh3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、nf3）、光纤（气体种类包括sicl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括hcl）等行业。它们的投资规模---，采用1---的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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