真空镀膜系统-艾明坷-四川真空镀膜

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    2023-12-13

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真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法


制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空状态需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,真空镀膜,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。

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真空镀膜机原理

真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。

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真空镀膜系统

机械泵的目的是为了获得低真空,通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积,使得被抽容器内的体积不断膨胀,真空镀膜厂家,从而获得粗真空,旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成,其中,定子在油箱中,真空镀膜系统,油起到润滑的目的,挥发的油经由排气口排出,经过真空泵油雾过滤器过滤,油雾颗粒被过滤器,过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空,因此第二步就是油扩散泵,四川真空镀膜,之所以要在油扩散泵前安装机械泵,是因为油扩散泵不能直接在---压下工作,需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散,为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱,大型镀膜机使用更有效的高真空组合。





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