




随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等---化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15mpa,甘肃高纯供气,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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净化则采用了的净化材料。其特点有吸附---好,高纯供气多少钱,吸收杂质气体量大的特点,高纯度可达99.9999%以上。2.并安装了小于1μ的金属过滤器。---了气体粉末的要求。3.本装置的阀门采用---阀门公司的产品,---了产品的高纯度无渗透及性。4.设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。5.设备中的主要控制仪表全部采用---产品。6.接头采用的高纯接头,---了无渗透。

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