低温冷凝泵：它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是目前获得---真空1高，抽速1大的抽气泵。
冷凝泵的工作原理：主要是低温表面对气体的冷凝作用、冷捕作用及物理低温吸附作用。
低温冷凝：根据各种气体的特性，采用液---或者制冷循环---气来冷却。
冷捕集：就是不可凝气体被可凝气体捕集的现象，通常---、水蒸气、氮气、压气等气体首先形成霜，于低温表面形成吸附层，进而达到吸附其它气体的目的，低温泵抽除混合气体的效果比抽除单一效果好就是这个原因。
低温吸附：指低温表面上的吸附剂吸附气体的作用，由于吸附剂与气体分子之间的相互作用很强，故可达到气相压强比冷凝表面温度下它的饱和蒸汽压还低的水平。吸附剂通常是活性炭。
冷凝泵的抽气速率及影响冷凝泵的抽气速率与冷凝表面的面积大小有关系，经数据显示，单位冷凝表面积下的抽气速率为11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；此外粘有活性炭的吸附表面的几何形状及位置、活性炭的颗粒结构、粘结材料及粘接工艺，对抽速也有很大的影响。其次关键在于制冷机的制冷量要足够大。
真空计：真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。
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1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100a），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，真空镀膜价格，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10a甚至1a的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，sitio3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是sitio3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度，选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg，1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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