真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用1多的有直径1、3m、0、9m、1、5m、1、8m等，腔体由不锈钢 target=_blank>;不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
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是否需要配置低温捕集器polycold，低温捕集器可以说是一种锦上添花的设备，它能够---提高抽气的速度，将真空室内的可凝性气体吸附在冷盘管上，净化真空室内的气氛，使膜层---，在炎热潮湿的夏季，低温捕集器的使用无疑在很大程度上，真空镀膜生产厂家，提高了生产效率。
冷却水循环系统，镀膜机需要配置冷却水循环系统，冷却水好使用去离子水，对于防腐蚀有很大的作用，---是真空室的焊道，一些容易生锈的部件等都有---的抑制作用，可以在去离子水中添加一些防腐剂，也可以防腐蚀。
在oled显示面板的制造过程中，需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀，该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此，提供一种手套箱蒸镀一体机，本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
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