




在oled显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
真空镀膜在日常生活中非常常见,就是一个真空系统也比较复杂,现在,我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。
真空镀膜设备不是单一的设备,而是设备组,它是由真空系统、蒸发系统,蒸发辅助系统,加热系统,整机的电气与自动化控制系统共同构成,今天,我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中,使得真空镀膜工艺排放无污染,节能。
抽真空系统,目前基本是两种,一种是扩散泵系统,一种是分子泵系统,分子泵系统属于清洁抽气系统,真空镀膜系统,没有扩散泵的返油现象,抽速也相对比较稳定,而且比较省电,电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的,---是润滑油的定期更换,注意油品牌号的选择,选择错误很容易损坏真空泵。
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