




工艺气体输入系统
工艺气体,如气(ar)、气(kr)、氮气(n2)、(c2h2)、(ch4)、氢气(h2)、氧气(o2)等,一般均由气瓶供应,经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀,然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是,管路简捷、明快,维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况,这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是,减少气瓶占用量,统一规划、统一布局。缺点是,由于接头增多,使漏气机会增加。而且,各涂层机之间会互相干扰,一台涂层机的管路漏气,有可能会影响到其他涂层机的产品。此外,更换气瓶时,必须---所有机台都处于非用气状态。

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3、从---到工作背景真空(7×10-4pa)时间短,30分钟左右(充干燥氮气)。 系统停泵关机12小时后真空度:≤8pa。
4、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
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