高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用的有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成
排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。
机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。
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机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致，真空镀膜系统，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时，小的工件承载台也转动( ii)，并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上，一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮，周围是一些小的星行轮与之啮合，如果要实现产品自转的话，一般用拨叉拨动工件自转。
离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
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