高纯供气系统

电子特气管道系统---检漏方法

特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空，外部喷---气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充---气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸法)应采用管路内部充---气或---氮混合气，外部应采用吸检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，---气柜各管路与阀门吹扫干净。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（n2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12psi，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（pt）受温度的影响，一般有2psi的正负波动。

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