1.易1燃易1爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室
内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能---可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：
可燃气体比空气轻者，高纯供气，报警装置设置在所处场所的顶部。
可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的1低处。
可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入---的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。
可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。
各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体。
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真空检漏的方法很多，---质谱检漏仪的使用---提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。---通过其进入真空系统或容器中；
漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；
1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；
检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；
反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；
消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；
漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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1、保持气体纯度
2、不间断气体供应：系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换，---气体连续供应
3、低压警示：当气压低于警报，报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定：系统采用两级减压方式供气，可得到非常稳定的压力
5、率：通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本
6、操作简便：所有气瓶存放在同一位置，减少搬运安装的操作，节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室：可提高安全性、提高---、节省实验室操作空间
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