真空镀膜系统

常见的真空镀膜材料

氧化物一氧化硅sio，二氧化硅sio2，二氧化钛tio2，二氧化锆zro2，二氧化铪hfo2，一氧化钛tio，五氧化三钛ti3o5，五氧化二铌nb2o5，五氧化二钽ta2o5，氧化钇y2o3，氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。

其它化合物---锌zns，---znse，氮化钛tin，碳化硅sic，钛酸---latio3，钛酸钡batio3，钛酸---srtio3，钛酸镨prtio3，硫1化镉cds等真空镀膜材料。

金属镀膜材料高纯铝al，高纯铜cu，高纯钛ti，高纯硅si，高纯金au，高纯银ag，高纯铟in，高纯镁mg，高纯锌zn，高纯铂pt，高纯锗ge，高纯镍ni，高纯金au，金锗合金auge，金镍合金auni，镍铬合金nicr，钛铝合金tial，锌铝合金znal，真空镀膜系统，铝硅合金alsi等金属镀膜材料。　

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真空镀膜系统

真空镀膜在日常生活中非常常见，就是一个真空系统也比较复杂，现在，我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。

真空镀膜设备不是单一的设备，而是设备组，它是由真空系统、蒸发系统，蒸发辅助系统，加热系统，整机的电气与自动化控制系统共同构成，今天，我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中，使得真空镀膜工艺排放无污染，节能。

真空镀膜系统

真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成

真空镀膜系统优点：蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中---环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。

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